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PECVD 系統是一組利用石墨舟和高頻等離子激發器的系列發生器。在低壓和升溫的情況下，等離子發生器直接裝在鍍膜板中間發生反應。

在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。