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電子燒結過程所用的石墨模具材料，主要為超細顆粒結構、高純度和高石墨化度的石墨材料，要求其平均粒徑小于15μm，甚至10μm以下，中等氣孔尺寸小于2μm。用此炭素原料做成的石墨模，氣孔率小、結構致密、表面光潔度高、抗氧化性較強等優點，平均使用壽命可達30～40次。利用人造石墨材料熱變形極小的特點，可制造晶體管的電子燒結石墨模具和支架，現已廣泛使用，它已成為發展半導體工業不可缺少的材料。石墨模具具有優秀的導熱及導電性能，線收縮系數低等很好的熱穩定性能及抗加熱沖擊性，具有良好的光滑和抗磨性，易于加工，機械加工性能好，能夠制造成外形復雜、精度高的模具，耐化學腐蝕與多數金屬不易發作反響。